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电子特气标准盘点
发布时间：2021-09-01
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导读：                为不断推动电子特气产业发展，国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类。

特种气体是用途有别于一般气体的气体，是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为，特种气体是由电子气体、高纯石油化工气体和标准混合气体所组成。另外，在半导体制造业中，气体还可以分为大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He 等。电子气体主要是半导体制造的每一个过程如外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀清洗、掩蔽膜生成所用到的各种化学气体，如高纯SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCI3、BF3、HCI、CI2等，又可称为电子特种气体。

电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门。各类半导体用电子气体标准主要由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会制定。

为不断推动电子特气产业发展，国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类，涉及国际标准40项，国家标准27项，共计67项标准。详情如下，

国际标准

计划号 项目名称 制修订 计划下达日期 项目状态
20204890-T-469 电子特气 一氧化氮 制订 2020/12/28 正在起草
20204889-T-469 电子特气 六氯乙硅烷 制订 2020/12/28 正在起草
20200854-T-469 电子特气 三氟化氮 修订 2020/3/6 正在批准
20200797-T-469 电子特气 三氯化硼 修订 2020/3/6 正在批准
20192162-T-469 电子特气 氨 修订 2019/7/12 正在审查
20192161-T-469 电子特气 磷化氢 修订 2019/7/12 正在审查
20184308-T-469 电子特气 六氟丁二烯 制订 2018/12/29 正在批准
20184306-T-469 电子工业用二氯硅烷 制订 2018/12/29 已发布
20184310-T-469 电子工业用四氯化硅 制订 2018/12/29 已发布
20184309-T-469 电子特气 氟甲烷 制订 2018/12/29 正在批准
20132258-T-469 电子工业用气体 六氟乙烷 制订 2014/1/26 已发布
20132259-T-469 电子工业用气体 三氟甲烷 制订 2014/1/26 已发布
20132260-T-469 电子工业用气体中金属含量的测定   电感耦合等离子体质谱法 制订 2014/1/26 已发布
20132255-T-469 半导体制造用气体处理指南 制订 2014/1/26 已发布
20132257-T-469 电子工业用气体 硅烷 修订 2014/1/26 已发布
20132256-T-469 电子工业用气体 丙烯 制订 2014/1/26 已发布
20120270-T-469 电子工业用气体 八氟丙烷 制订 2012/10/12 已发布
20120271-T-469 电子工业用气体 锗烷 制订 2012/10/12 已发布
20110736-T-469 电子工业用气体 四氟化硅 制订 2011/12/14 已发布
20111284-T-469 电子工业用气体 高纯氯 修订 2011/12/14 已发布
20110735-T-469 电子工业用气体 六氟化钨 制订 2011/12/14 已发布
20111285-T-469 电子工业用气体 氯化氢 修订 2011/12/14 已发布
20101283-T-469 电子工业用气体 六氟化硫 修订 2010/12/17 已发布
20091223-T-469 电子工业用气体 八氟环丁烷 制订 2009/12/15 正在审查
20091224-T-469 电子工业用气体 四氟化碳 制订 2009/12/15 正在审查
20081120-T-469 电子工业用气体 砷化氢 制订 2008/11/3 已发布
20081121-T-469 电子工业用气体 硒化氢 制订 2008/11/3 已发布
20081119-T-469 电子工业用气体 三氯化硼 修订 2008/11/3 已发布
20070017-T-469 电子工业用气体 5N氯化氢 制订 2007/5/18 已发布
20062982-T-469 电子工业用气体 磷化氢 修订 2005/12/30 已发布
20062406-T-469 电子工业用气体 氦 修订 2005/12/30 已发布
20062405-T-469 电子工业用气体 氢 修订 2005/12/30 已发布
20062408-T-469 电子工业用气体 氩 修订 2005/12/30 已发布
20062751-T-469 电子工业用气体 三氟化硼 修订 2005/12/30 已发布
20062752-T-469 电子工业用气体 氧 修订 2005/12/30 已发布
20062749-T-469 电子工业用气体 氧化亚氮 修订 2005/12/30 已发布
20062750-T-469 电子工业用气体 氨 修订 2005/12/30 已发布
20062407-T-469 电子工业用气体 氮 修订 2005/12/30 已发布
20064396-T-469 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 修订 2005/12/30 已发布
20051092-T-469 电子工业用气体 三氟化氮 制订 2005/12/15 已发布

国家标准

标准号 标准中文名称 发布日期 实施日期 标准状态
GB/T   38866-2020 电子工业用二氯硅烷 2020/7/21 2021/2/1 现行
GB/T   38867-2020 电子工业用四氯化硅 2020/7/21 2021/2/1 现行
GB/T   34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷 2017/7/31 2017/11/1 现行
GB/T   34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷 2017/7/31 2017/11/1 现行
GB/T   15909-2017 电子工业用气体 硅烷 2017/5/31 2017/12/1 现行
GB/T   33774-2017 电子工业用气体 丙烯 2017/5/31 2017/12/1 现行
GB/T   32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨 2015/12/31 2016/7/1 现行
GB/T   31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷 2015/9/11 2016/5/1 现行
GB/T   31987-2015 电子工业用气体 锗烷 2015/9/11 2016/5/1 现行
GB/T   31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅 2014/12/22 2015/7/1 现行
GB/T   18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫 2014/12/22 2015/7/1 现行
GB/T   14602-2014 电子工业用气体 氯化氢 2014/12/22 2015/7/1 现行
GB/T   18994-2014 电子工业用气体 高纯氯 2014/12/22 2015/7/1 现行
GB/T   26249-2010 电子工业用气体 硒化氢 2011/1/14 2011/5/1 现行
GB/T   26251-2010 氟及氟氮混合气 2011/1/14 2011/5/1 现行
GB/T   17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼 2011/1/14 2011/5/1 现行
GB/T   26250-2010 电子工业用气体 砷化氢 2011/1/14 2011/5/1 现行
GB/T   14851-2009 电子工业用气体 磷化氢 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   14601-2009 电子工业用气体 氨 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   16945-2009 电子工业用气体 氩 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   16944-2009 电子工业用气体 氮 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   14604-2009 电子工业用气体 氧 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   16942-2009 电子工业用气体 氢 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   16943-2009 电子工业用气体 氦 2009/10/30 2010/5/1 现行
GB/T   21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮 2007/12/14 2008/7/1 现行

[来源：仪器信息网]

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